ICP-OES
steht für englisch „inductively coupled plasma optical emission spectrometry“, also „optische Emissionsspektrometrie mittels induktiv gekoppelten Plasmas“. Das „A“ in der älteren Bezeichnung ICP-AES steht für atomic, was jedoch etwas irreführend ist, da in der OES Ionenlinien eine dominante Rolle spielen und nicht Atomlinien.

Die Methode des induktiv gekoppelten Plasmas beruht auf der Verwendung eines sehr heißen (ca. 10.000 K) Argon-Plasmas zur Anregung der optischen Emission der zu analysierenden Elemente. Die Grundlagen erarbeiteten unabhängig voneinander Greenfield und Fassel 1964/65. Das erste kommerzielle Gerät wurde 1975 vorgestellt, seit ca. 1985 wird es routinemäßig in der Industrie angewandt. So ist die ICP-OES-Technik inzwischen in der Umweltanalytik, Materialforschung, Metall- und Pharmaindustrie sehr weit verbreitet.